GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮
- 文件大小：1.5 MB
- 标准类型：国家标准
- 标准语言：简体中文
- 授权形式：免费标准
- 文件类型：PDF格式
- 安全检测：瑞星、江民、卡巴、可牛：安全
- 更新时间：2015-10-11
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资料介绍
标准编号：GB/T 16944-2009
简体名称：电子工业用气体 氮
繁体名称：電子工業用氣體 氮
英文名称：Gas for electronic industry—Nitrogen
标准简介：
本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮,以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压,化学气相淀积等。